国产光刻机工厂落地雄安?中国电子院发声

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近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此,中国电子工程设计院有限公司9月18日发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。

据介绍,北京高能同步辐射光源项目坐落于北京怀柔雁栖湖畔,是国家“十三五”重大科技基础设施,它是我国第一台高能量同步辐射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步辐射光源之一。该项目早在 2019 年就开始建设、将于 2025 年底投入使用。

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